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附录F 洁净室生物学评价方法
F.1回、排风高效过滤风口微生物透过率F.1.1仪器设备和材料应符合以下要求:1仪器设备:Φ90玻璃平皿(或塑......
附录G 洁净室气密性检测方法
附录G洁净室气密性检测方法G.1原理G.1.1保持室内为正压或负压均能满足检验要求,但条件允许时,负压洁净室宜......
附录H 分子态污染物的检测
附录H分子态污染物的检测H.1分子态污染物(AMC)H.1.1分子态污染物主要包括以下四种:1酸性气体(表示为......
本标准用词说明
本标准用词说明1为便于在执行本标准条文时区别对待,对于要求严格程度不同的用词说明如下:1)表示很严格,非这样做......
引用标准名录
引用标准名录1《建筑工程施工质量验收统一标准》GB503002《砌体工程施工质量验收规范》GB502033《漆......
前言
中华人民共和国国家标准电子工业洁净厂房设计规范Codefordesignofelectronicindustr......
1、总则
1总则1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中,做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量,并......
2、术语
2术语2.0.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒......
3、电子产品生产环境设计要求
3电子产品生产环境设计要求3.1一般规定3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和......
4、总体设计
4总体设计4.1位置选择和总平面布置4.1.1洁净厂房位置的选择,应根据下列要求经技术经济比较后确定:1应布置......
5、工艺设计
5工艺设计5.1一般规定5.1.1洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预......
5、工艺设计
5工艺设计5.1一般规定5.1.1洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预......
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