上海青浦区半导体电子集成电路百级千级净化车间装修工程案例

案例介绍

• 项目名称:上海青浦区半导体电子集成电路百级千级净化车间装修工程案例
• 建筑面积:2850.80
• 服务项目:半导体集成电路无尘室
• 项目地址:上海市青浦区
• 施工工期：90天
• 洁净等级:百级、千级

案例详情

　　一、项目概况

　　1、建筑物性质、规模

　　本工程位于上海青浦区嘉松中路，为上海某某电子有限公司车间净化装修工程，本工程车间有一层，建筑建筑面积为2850.80平方米，其中净化车间面积为2420.08平方米，剩余为办公区域。

　　2、项目定位

　　该项目厂房建成后主要生产电子芯片，因此以千级与百级半导体净化车间要求来进行建设。

　　3、设计依据

　　《采暖通风及空气调节设计措施》GB50736-2012

　　《洁净厂房设计规范》GB50073-2013

　　《工业企业厂房设计规范》GB12348-90

　　《建筑设计防火规范》GB50016-2014

　　《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243-2016

　　《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010

　　甲方对项目的设计要求、提供的工艺条件以及工艺土建等专业提供的资料

　　二、平面布置

　　商业机密，业主不匀透露。

　　三、设计施工范围

　　1、生产车间洁净空调系统工程，

　　2、办公区普通空调系统工程，

　　3、洁净车间内部及普通车间墙板及天花工程，

　　4、给排水及强电布设工程

　　5、新风系统工程

　　6、空压机设备及相关管道工程，

　　7、消防改造工程

　　四、设计参数

　　室内设计参数

　　百级区域：温度23±2℃，湿度：45±5%，噪声≤60;

　　千级区域：温度23±2℃，湿度55±10%，噪声≤65。

　　换气次数：百级：截面风速0.3~0.5m/s (百级车间需做架空地板，局部百级可用洁净棚) 千级：50~60次/h

　　五、空调系统

　　洁净无尘生产区采用AHU(空气处理机组)+HEPA(高效)+FFU：新风与部分回风混合后送人洁净室，FFU洁净循环，采用上送风侧下回风的气流组织的方式以满足室内温度与湿度等要求。

　　六、风管系统

　　空调、新风管道用镀锌钢板，材质: 镀锌钢板;形状: 矩形;规格: D<=800mm;板材厚度: 0.65mm;接口形式: 咬口;

　　七、螺杆空气压缩机系统

　　1、启动

　　螺杆空压机主机采用星三角转换空载或变频软启动模式，当主电机在停止状态时，进气阀关闭，放空阀开启，主电机在无负载时以星形启动，同时断水电磁阀得电，断水阀开启，6～10秒后转成三角形运行，这时压缩机主机通过进气阀上的进气小孔吸气并压缩到水气桶内，建立了约0.2～0.3MPa的系统初始压力，使水气桶内的水经过冷却器、断水阀及水过滤器后向主机供水。

　　2、加载

　　主电机转成三角形运行后约5～10秒，控制器使加载电磁阀得电，加载电磁阀打开，放空阀关闭，进气阀开启，主机开始负载运行，当水气桶内压力超过0.4MPa时，最小压力阀打开，压缩机开始向外供气。

　　3、卸载—加载

　　当控制器检测到系统压力达到卸载压力时，控制器使加载电磁阀断电，这时进气阀关闭，放空阀开启，当外部压力大于水气桶压力，最小压力阀关闭，压缩机继续运转，并通过进气阀小孔吸气，压缩至水气桶内，放空阀开启放空，使水气桶内的压力保持在0.4MPa，以维持系统的正常运行。这时主电机是空载运行，电流为满负荷的15%左右。当外部供气压力下降至加载压力时，控制器使加载电磁阀得，放空阀关闭，进气阀打开，压缩机加载运行，开始向外供气，如此循环动作。

　　4、水气分离

　　压缩机工作时，水气桶内的水由系统压力驱动，经冷却器、水过滤器及断水阀向主机内喷水，压缩机排出的是水气混合物，经水气桶时，由于气流产生的离心力及碰撞等作用，使水气混合物中99.99%以上的水分离沉淀在水气桶中，残余的一点点水混合在压缩空气中经由最小压力阀排出水气桶外。

　　5、自动补排水

　　当压缩机持续进行压缩及冷却时，空气中的水分便凝结累积在水气桶内，水位上升，若水位高于正常时，自动排水阀开启，排出多余的水分;当湿度较低(如冬天)或是冷却器效率较差造成温度上升，桶内的水气随着空气排出，水位降低，若水位低于正常时，自动补水阀开启，由压缩机吸气侧补充水进入水气桶内。

　　6、主机运行温度及冷却

　　喷水螺杆机主机的运行温度应维持在≤环境温度+20℃，这样可使润滑水能得到有效分离，而不会因高温使水汽化或高温。当压缩机一开机时冷却风扇就得电，压缩机水得到冷却，冷却后的压缩机水喷至主机内，使主机温度下降。

　　7、停机

　　停机时，压缩机会先卸载运行15～35秒，当水气桶压力下降0.4MPa时，主接触器断电，主电机停止，同时断水电磁阀断电，断水阀关闭。

　　八、废气工程

　　因为半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常运用风机抽取工艺进程中蒸发的各类废气，因而半导体职业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以蒸发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放首要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

　　九、自控体系

　　因为核算机枝术、操控技能、通讯技工及图画技能的发展，使微核算机操控技能在制冷空调自动操控的使用愈来愈普遍。传统操控体系在引人微核算机后，就可以充分利用核算机的强大算术运算、逻辑　运算及记忆等功用，运用微机指令体系，编制出契合操控规则的软件。微机执行这些程序，就能完成被控参数的操控与办理，如数据采集和数据处理等。

　　核算机的操控进程可归纳为实时数据采集、实时决议计划和实时操控三个过程。这三个过程不断地重复进行就会使整个体系依照给定的规则进行操控、调节。同时，也对被控变量及设备运行状态、毛病等进行监测、超限报警和维护，记录历史数据等。

　　应该说，核算机操控在操控功用如精度、实时性、可靠性等方面是模拟操控所无法拟操控所无法比拟的。更为重要的是，因为核算机的引入而带来的办理功用(如报警办理，历史记录等)的增强更是模拟操控器根本无法完成的。因而，近年来，在制冷空调自动操控的使用上，尤其在大中型空调体系的自动操控中，核算机操控已经占主导地位。