前言

中华人民共和国国家标准电子工业洁净厂房设计规范Codefordesignofelectronicindustr......

1、总则

1总则1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并......

2、术语

2术语2.0.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒......

3、电子产品生产环境设计要求

3电子产品生产环境设计要求3.1一般规定3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和......

4、总体设计

4总体设计4.1位置选择和总平面布置4.1.1洁净厂房位置的选择，应根据下列要求经技术经济比较后确定：1应布置......

5、工艺设计

5工艺设计5.1一般规定5.1.1洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预......

5、工艺设计

5工艺设计5．1一般规定5．1．1洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预......

6、洁净建筑设计

6洁净建筑设计6.1一般规定6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生......

7、空气净化和空调通风设计

7空气净化和空调通风设计7.1一般规定7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工......

8、给水排水设计

8给水排水设计8.1一般规定8.1.1洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，并宜敷设在通行的技术......

9、纯水供应

9纯水供应9.1一般规定9.1.1电子产品生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求，并结......

10、气体供应

10气体供应10.1一般规定10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压......