6、洁净建筑设计

6洁净建筑设计6.1一般规定6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生......

7、空气净化和空调通风设计

7空气净化和空调通风设计7.1一般规定7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工......

8、给水排水设计

8给水排水设计8.1一般规定8.1.1洁净厂房的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，并宜敷设在通行的技术......

9、纯水供应

9纯水供应9.1一般规定9.1.1电子产品生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求，并结......

10、气体供应

10气体供应10.1一般规定10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压......

11、化学品供应

11化学品供应11.1一般规定11.1.1洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品生产工艺和化学品的品质、......

12、电气设计

12电气设计12.1配电12.1.1洁净厂房的用电负荷等级和供电要求，应根据电子产品生产工艺及设备要求和现行国......

13、防静电与接地设计

13防静电与接地设计13.1一般规定13.1.1洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静电环境设计应满足......

14、噪声控制

14噪声控制14.1一般规定14.1.1洁净厂房的噪声控制，应满足电子产品生产的要求，并应保持工作人员具有舒适......

15、微振控制

15微振控制15.1一般规定15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、施工和投产等各阶......

附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求

附录A各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求...

附录B 电子产品生产间／工序的火灾危险性分类举例

附录B电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例注：①表中房间在设备密闭性良好，并设有气体或可燃蒸气报警装置和灭......